二手 CANON FPA 5500 iZ #9275017 待售

CANON FPA 5500 iZ是在半導體制造過程中執行臨界光刻任務的晶圓步進器。它是FPA 5000的改進版本,具有改進的光學設備和更高的功能分辨率,可達0.09微米。步進器使用由透鏡、鏡子和棱鏡等光學元件陣列組成的透鏡技術將圖像傳輸到晶圓上。它減少光的光圈，從而使圖像的放置更加精確。CANON FPA 5500IZ具有較高的深層紫外光刻成像性能,在正負抗蝕劑照射下提供線寬低至0.09微米（0.009毫米）的圖樣。它還提供了卓越的覆蓋精度和較低的工藝緯度,確保了產品設計的嚴格公差。該單元具有改進的投影光電系統，可提高分辨率，以及改進的照明單元，可確保整個曝光場的照明均勻性。這使客戶能夠獲得最佳結果,以產生他們所需的模式。FPA-5500 IZ具有許多功能,使其適合任何高精度光刻作業。最大場為24 X 24 mm，配備舞臺平移範圍10 mm，最大場大小和精度。該單元能夠在多種不同波長下運行，包括i-line（365 nm）、g-line（436 nm）和DUV（248 nm）。該機還配備了高性能晶圓對準工具，使機器能夠確保對準精度在70 nm以上，可重復性高達20 nm。該機可靠性高，穩定性強，具有空氣電離器和除塵器等特點。該資產還配備了一個防振表，可以在晶圓上穩定地放置低至半音高的圖像。它配有一個內部閘閥，有助於防止真空室的汙染。FPA 5500IZ還具有大型液晶顯示器,便於查看圖像信息。在自動化方面，CANON FPA-5500 IZ配備了可升級控制器，可支持多達三個用戶定義的自動加載功能，用於不同的吞吐量。它還可以通過易於使用的圖形用戶界面（GUI）進行控制,該界面允許全自動、半自動或手動操作。機器具有較高的處理速度，減少曝光時間，每小時最多可處理八個晶圓。總體而言,FPA 5500 iZ是一種先進的晶圓步進器,它通過改進的光學系統提供了更高的分辨率和功能。它還提供了晶圓對齊和叠加的高精度,以及提高效率和吞吐量的自動化選項。