二手 CANON FPA 5500 iZ #9275447 待售
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已售出
ID: 9275447
晶圓大小: 12"
優質的: 2001
i-Line stepper, 12"
Reticle, 6"
Inline: Left to right
(2) Coaters
(2) Developers
2001 vintage.
CANON FPA 5500 iZ是一種先進的晶圓步進設備,設計用於先進的觀測、檢查和對準應用。該系統具有高分辨率5.5英寸顯示器、符合人體工程學的操作控制臺和集成光學成像單元。這臺機器能夠處理直徑達8英寸、厚度達1mm的晶片。CANON FPA 5500IZ有五個光通道,其光功率是傳統晶圓步進器的兩倍以上。這樣可以提高晶片對準和檢查的準確性。光學元件還具有較高的數值孔徑,可確保高水平的圖像清晰度和分辨率。FPA-5500 IZ利用先進的光學成像技術,如景深和偏振測量。這樣就可以精確地對準晶片上的微分子,如焊墊和焊球。它還有一個集成的紅外激光掃描儀來檢測粒子缺陷。該工具具有高速X-Y電動機級,能夠快速傳輸晶圓以提高吞吐量。它還具有一個全自動微米級,用於在曝光前精確對準晶圓。這允許在檢查或對準微型元件或其他特征時具有最高的準確性。FPA 5500 iZ利用具有快速圖像處理資產的高速CPU來減少曝光時間,從而允許更高效的測試和檢查。它具有用戶友好的GUI界面,使機器的操作更容易使用。CANON FPA-5500 IZ提供了一整套用於數據采集、圖像處理和模式分析的離線軟件。這提供了一個完整的晶圓檢驗解決方案,不需要操作員的要求。該模型還提供了增強的晶圓幾何、度量和缺陷檢測功能。總體而言,FPA 5500IZ是一種先進的晶片步進設備,專門為晶片的高精度檢測和對準而設計。它具有多種功能,旨在提高準確性、速度、吞吐量和易用性。這使得它成為任何精密晶片處理應用的理想選擇,其中精度和速度是最重要的。
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