二手 CANON FPA 5500 iZ #9293800 待售

CANON FPA 5500 iZ是一種最先進的晶圓步進器，旨在產生高度精確的光刻圖像。這款設備采用先進的多色還原相移技術，實現失真低、背景噪聲小的超高分辨率圖像。CANON FPA 5500IZ提供同步加速器級圖像分辨率和特征一致性,同時提高吞吐量和減少開發時間。該系統配備了objA和objB這兩個高孔徑目標,可提供出色的特征分辨率,提高特征線性度,並在整個領域實現sub-2 nm分辨率。這允許更高的尋址性、增強的過程控制以及改進的未來產品可擴展性。此外，FPA-5500 IZ利用雙放大成像，或DMI，一個獨特的功能佳能光刻系統。DMI將兩種物鏡結合在一起,以精細地聚焦和調整圖像細節,從而使用戶能夠探索新的方法來準確地描述各種程度的特征。設備使用高級集成的步驟和重復過程,該過程會自動調整字段大小以及曝光參數。這減少了暴露錯誤的機會,確保了整個字段的一致性。板載晶片轉移選項加上高速整合過程,縮短了處理時間並提高了吞吐量。FPA 5500IZ還與FPA-100變焦光學機器兼容,這是一種多功能、緊湊的汽車工具,適用於變焦鏡頭範圍超過4倍的應用。該設備提供三種鏡片：1.8X、2.2X和2.8X,使用戶能夠快速適應最具挑戰性的成像問題。FPA 5500 iZ利用CANON專利MicroLock技術和先進的遠心光學資產進行精密光刻應用。MicroLock可防止曝光不對準,並確保將圖樣精確傳輸到晶圓。遠心光學模型采用靜態校準的標線設備，具有極高的圖樣精度和可重復性，使CANON FPA-5500 IZ成為半導體制造的理想系統。CANON FPA 5500 iZ非常適合那些尋求可靠、易於使用的晶圓步進器來滿足其光刻需求的用戶。功能和先進技術的結合使CANON FPA 5500IZ尋求提高其光刻精度和產品可擴展性的企業的寶貴工具。