二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9293801 待售

CANON FPA 5500 iZ+是為集成電路（IC）生產過程設計的最先進的晶圓步進器。該設備能夠處理直徑從200毫米到450mm的晶片,並且能夠以高達300毫米/秒的快速速度處理晶片。步進器配備了先進的圖像定位光學設備，使晶圓上的標線精確對準，每次曝光都有亞微米精度。該系統還能夠在幾分鐘內掃描整個晶片並檢測任何缺陷或缺陷。此外,FPA 5500還具有精確的舞臺運動控制功能,可在晶片的整個表面上實現均勻性曝光和極精確的晶片與標線對準。步進器具有緊湊的設計,允許機器以各種配置安裝,而無需昂貴的轉接單元。此外，它還具有自動維護功能，監測機器的狀況，並進行必要的預防和糾正維護，以確保可靠的生產過程。該設備由高級軸上照明工具（AOIS）供電,該工具使用高性能LED在晶圓的整個裸露表面提供均勻的光強度。此外，該資產使用優化的紫外線光譜來提供盡可能高的分辨率，以提高清晰度和邊緣清晰度，並根據晶圓類型和厚度提供更高的聚焦深度。該單元還具有高精度衍射光學元件，在晶圓上投射出均勻的銳利光場，提供近乎完美的圖像均勻性和多功能性的曝光。此外，FPA 5500裝有佳能iZ Monitor Model，它實時記錄和報告精確的曝光數據，允許精確無誤的操作。為確保最高質量和生產率,CANON FPA-5500IZ+配備了集成的質量保證設備。此系統記錄任何流程更改,使其易於檢索以改進流程和預防性維護,並允許設施之間共享流程數據。此外,FPA 5500 IZ++還配備了自動對準裝置,以實現快速、準確的晶片對準,從而確保產品質量可重復。FPA 5500 iZ+是一種可靠、精密的設備,是IC生產技術中最好的。步進器以高達300毫米/秒的驚人速度,每次曝光都提供了非常多的細節,而其現有的晶圓處理組件可以輕松升級,以適應更苛刻的任務。