二手 CANON FPA 5500 iZ #9350968 待售

CANON FPA 5500 iZ是一種最先進的晶圓步進器，用於制造半導體和光電器件。它能夠產生微觀和納米的特征，從而提高精度和性能。機器的核心是集成的ZAP雙光束光學設備，它結合了5500毫米脈沖激光和差分成像（DIF）配置，以提高光刻性能。CANON FPA 5500IZ還包括一個600毫米矩形投影鏡頭，允許快速掃描速度和減少失真。FPA-5500 IZ具有425 mm的廣域,並配備了創新的基於特征的軸對準（FOBAW）系統,以提高準確性和可重復性。其高精度的X-Y級具有高度精確的獨立運動和掃描制導能力。為了提高生產率和可靠性,該機器的設計縮短了刀具的安裝時間。在性能方面，CANON FPA-5500 IZ能夠生產最小特征尺寸為0.5 µm的高精度蝕刻和/或塗層器件。該單元還配備了衍射模糊還原技術，可以減少衍射誘導的掩模誤差的影響。其先進的舞臺控制機器包括獨特的內存共振掃描（MRS）技術,可實現更快的掩碼與晶片對齊和更快的陣列。此外,FPA 5500 iZ還具有多項功能,可提高安全性、效率和成本效益。它配備了激光安全監控工具，監控機器的環境，以確保激光安全。該機器還能夠產生可被強制空氣資產消散的熱量，防止部件損壞並提高能源效率。最後，一個可編程邏輯模型提供了一個交互式的界面，方便的作業控制。FPA 5500IZ是一種尖端晶片步進器,可提供卓越的精度和性能,滿足苛刻的生產要求。它的先進功能，如FOBAW、MRS和激光安全監測，確保其高度可靠和具有成本效益。因此，CANON FPA 5500 iZ是制造半導體和光電器件的理想選擇。