二手 CANON FPA 5500 iZ #9384056 待售

CANON FPA 5500 iZ是一種光學晶片步進器，旨在為用戶提供制造半導體器件的先進可靠平臺。該設備是佳能iZ技術的下一代，使其成為業界最先進、效率最高的晶圓步進器。晶圓步進器配備了先進的高分辨率投影工具、集成計量學的高級級和級，以及高容量的光刻源。CANON FPA 5500IZ利用波長為248 nm的DUV KrF激光器和先進的球形光學器件提供高分辨率成像設備。它具有高精度的高級級系統，由細螺距電動機、多維掃描和運動學控制組成。晶圓步進器還具有高容量光刻光源，利用從紫外線到紅外的多波長照明，允許長期、可重復、超強的光刻。FPA-5500 IZ還具有集成的缺陷檢測、圖像鍍層和計量功能,為用戶提供了一個完整的設備以實現最高質量的設備制造。晶片步進器的所有元件都是模塊化和可互換的，允許方便的維護和維修能力。此外,該機器還配備了電子電源和多渠道機電控制,可實現低循環時間和提高吞吐量。FPA 5500 iZ旨在滿足最苛刻的半導體生產環境的需求。其高分辨率成像單元和高級階段提供了出色的成像精度和精確控制。集成的計量、缺陷檢測和電鍍功能為設備制造提供了完整的解決方案。最後，其模塊化結構和長期可重復光刻機使其成為高批量生產精密器件制造的理想選擇。