二手 CANON FPA 5500 iZ+ #9391644 待售

CANON FPA 5500 iZ+
ID: 9391644
i-Line stepper.
CANON FPA 5500 iZ+是一款高精度、高性能的晶圓步進器,專為滿足現代半導體生產線最具挑戰性的要求而設計。它是FPA 5500 iZ的改進版本,具有全新的IZ+光刻引擎,可提供卓越的圖像質量、快速準確的掃描,並提高晶圓吞吐量。CANON FPA-5500IZ+配備65納米(nm)鏡頭,可實現低開銷和提高性價比。憑借先進的工程設計和創新的設計,這種晶片步進器能夠在各種尺寸和形狀的晶片上創建高質量的模式。FPA 5500 IZ++配備了一個6英寸寬的商業成像板(BIP),在上面形成了精確的圖樣。該BIP由納米級精密的高科技聚合物制成,用於超高分辨率成像。內置定位系統使CANON FPA 5500 IZ++能夠將掃描精確註冊為精確的模式,以提高輪廓和線條保真度。空間濾波器還有助於消除有害的噪聲,減少晶圓膨脹和厚度變化所產生的失真。FPA-5500IZ+專為高通量、高精度而設計,非常適合用於先進的半導體生產線。它的高精度傳感器密切跟蹤和反應晶圓的確切位置被掃描,確保精確的模式對準在每一個光學步驟。此外,獨特的縫合算法使兩個同步掃描頭能夠準確地將模式連接在一起,而不會中斷數據流。FPA 5500 iZ+配備了集成的硬件和軟件,以便於維護和操作。其自動校準系統使步進器保持最高的圖樣保真度,而其高動態範圍照明系統(HD-IL)確保了一致的圖樣質量。這兩種系統都設計為與設備的高級光學處理器協同工作,從而能夠更快、更準確地生產出最復雜的圖案形狀。簡而言之,CANON FPA 5500 iZ+是一款先進、高性能的晶圓步進器,旨在滿足現代半導體生產線最具挑戰性的要求。憑借其創新的工程設計、尖端的特性和易於操作的特點,該設備能夠在各種尺寸和形狀的晶片上創建高質量的設計。
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