二手 CANON FPA 5500 iZa #293606891 待售

CANON FPA 5500 iZa是為需要精確對準和曝光解決方案的半導體器件制造商設計的晶圓步進器。它是一種單梁投影對齊器類型，為用戶提供高級的精度和均勻性。CANON FPA-5500IZA配備了一系列功能,旨在通過創建質量較低的錯誤產品來改善整個過程。照明場大小為7.5至55 μ m,最小特征大小為0.5 μ m。步進器的對準精度高達2.5 μ m,最小可測量線寬為0.15 μ m。FPA 5500IZA有一個機械級,可以在三個軸（X、Y和Z）中移動,對對準和曝光進行微小調整。此外,步進器還具有高分辨率成像系統,可快速準確地定位對齊標記。它進一步配備了自動和手動對焦控制，以進一步提高準確性和可重復性。FPA-5500 IZA還有一個廣泛的曝光系統，其中包括一個無光門激光源，確保產品在多個批次上的一致性。該系統已集成到步進器本身中，使其能夠適應廣泛的曝光目標。一個改進的低反射鏡也減少了總曝光時間和產生更好的圖像精度。步進器設計為用戶友好，其用戶友好的圖形顯示終端和一套軟件。此軟件套件允許自動輸入和控制一系列制造過程,包括對齊、曝光和曝光後處理。步進器可以在各種模式下操作，例如手動或自動操作，也可以在離線或聯機模式下操作。CANON FPA 5500IZA旨在為制造商提供卓越的精度、可重復性和速度。它是一種用途廣泛且適應性強的步進器，非常適合半導體器件制造商。它可以針對廣泛的進程進行編程，其用戶友好的界面使其易於使用。最後，它的創新設計旨在改善整體制造過程，產生錯誤較少的優越產品。