二手 CANON FPA 5500 iZa #293606898 待售

ID: 293606898
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
i-Line stepper, 12" Process: i-Line wide-field FOUP Load port (2) SMIF Indexers Lens performance Does not include Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 200 VAC, 3-Phase 2005 vintage.
CANON FPA 5500 iZa是一種高端芯片成像和光刻設備,為先進的半導體制造而開發。該晶片步進系統是為先進的光刻技術操作和精密晶片映射能力而設計的。其核心特性包括大光場、高通量、低噪聲光束掃描,使其能夠提供無與倫比的圖像和光刻性能。CANON FPA-5500IZA的設計有一個大的照明場,它只有不到20英寸,允許大的模距應用。此大磁場擴展了加工邊距,尤其是在加工更大的芯片時。該裝置具有高度抗沖擊和耐腐蝕的設計,使其能夠在惡劣的工業工藝條件下發揮作用。功耗也有所提高,提供了無與倫比的能效。FPA 5500IZA配備高精度、低噪聲光束掃描,使其能夠處理小批量,對於單層,可以產生微米精確的特征尺寸。這種掃描技術大大降低了晶片上的汙染水平,提供了更高精度的清潔工藝。該機還配備了大而有力的掃描流體透鏡,使其能夠輸出高達0.75微米的分辨率,具有20位色深。CANON FPA 5500IZA采用光電晶格,可實現精確放置和精確對準的快速陣列。這項技術還允許不間斷編程,因為該工具可以輕松地在大小模式之間切換。此外,資產的高精度對齊功能允許精確的模式定位和可靠性。FPA-5500IZA具有先進的計算機模型和軟件,與高級算法集成在一起,使其能夠在晶圓上精確地繪制出高分辨率和大場模式。這種設備能夠進行先進的光刻,如浸入式光刻,還能使用先進的晶圓成像,如先進的紫外線、X射線和電子束成像。FPA 5500 iZa憑借其高度可靠和節能的設計、先進的成像和光刻能力以及精確的晶圓映射技術,提供了先進的芯片制造和光刻操作,性能無與倫比。
還沒有評論