二手 CANON FPA 5500 iZa #293606900 待售

CANON FPA 5500 iZa晶片步進器是一種半導體光刻設備，設計用於對高達300 mm的超大型晶片進行制圖。該系統具有精確的高級階段和高分辨率的編碼器，最高的精度和先進的單元監控最大吞吐量。該機適用於65 nm節點及以上的次30 nm矽生產生產。該工具利用先進的重離子光刻技術，確保了頂尖的圖樣精度和叠加性能。分辨率功能範圍從0.7 nm線路/空間到15 nm,而覆蓋功能範圍從1.3 nm到15 nm。先進的重離子光刻有助於提高生產率，提高吞吐量，減少標線變化，減少曝光。CANON FPA-5500IZA晶圓步進器由高性能的監督控制資產CORE GXP 266提供動力,該資產包括基於WindowsCE的操作模型,以實現最大的應用程序靈活性和可擴展性。FPA 5500IZA還具有最先進的投影光學、舞臺和探測器系統以及固定的5軸晶圓處理設備。CANON FPA-5500 IZA還具有較高的純度、熱穩定性和減振水平,以實現最高的運行性能。自由掃描模式（Free Scanning Mode，FSM）技術進一步提升了操作性能，使得晶圓曝光可以被掃描，而不需要重新初始化整個步進器。它還具有先進的舞臺技術,能夠掃描到0.42um/sec,以減少相機曝光時間並提高吞吐量。FPA 5500 iZa是晶片生產領域的領先者,具有先進的光刻性能、超高分辨率和先進的可靠性、準確性和吞吐量。該系統非常適合生產最先進的65nm和45nm半導體節點的復雜設備和陣列。