二手 CANON FPA 5500 iZa #293628566 待售

CANON FPA 5500 iZa是為完成半導體制造任務而設計的晶圓步進器。它配備了有助於促進極其精確的過程的功能。該設備采用激光曝光雙成像設備，其中曝光和對準參數可單獨管理。CANON FPA-5500IZA提供了高端對準精度,與傳統系統相比,測量時間縮短了5倍。此外,它還具有改進的成像系統,該系統具有可調節功率範圍的高功率激光。該設備配備了一個先進的舞臺平臺，可容納200毫米大小的晶片，並提供+/-1 μ m的運動可重復性。它還配備了CANON專有的Auto-Focus Sensor，允許最快的測量和精確的改變焦點位置。CANON FPA系列有幾種功能，如曝光對準和模式確定。其曝光對準特征確保每次曝光都非常精確，其模式確定特征確保所有圖案都能準確確定和對準。該設備還提供了具有4軸校正的傾斜控制單元，以最大程度地減少舞臺幹擾，自清潔技術，以及簡單直觀的用戶界面。CANON FPA由於能耗低、振動最小、冷卻機要求低，對環境的影響較小。它專為緊密集成和方便的網絡連接而設計,使其更易於集成到現有系統中。該設備還具有全面的服務和維護支持以及全面的選項和升級。總體而言，FPA 5500IZA是一種高效、精確的晶圓步進器，非常適合半導體制造。它具有高度精確的對齊工具、傾斜控制資產、自清潔技術、低能耗和易於集成到現有系統中。其全面的選項和可升級的範圍確保它可以滿足任何半導體制造需求。