二手 CANON FPA 5500 iZa #293644154 待售

CANON FPA 5500 iZa是一種最先進的晶圓步進器，又稱步進重復機，用於在半導體集成電路上產生高度精確的細線曝光模式。此步進器利用功能強大的iZa Illumination Equipment實現最大的成像性能,提供全方位的反射和透射曝光透鏡,以及先進的對準級和先進的電機控制。這種步進器以其激光光束控制的XY級和其雙光束曝光頭而與眾不同。這臺機器具有高達800 nm的曝光波長、16 nm的步長和超過30X分辨率,能夠提供非常精確的曝光模式,滿足最高規格。CANON FPA-5500IZA上直觀的人機界面確保了整個曝光過程的平穩高效運行。憑借其易於導航的軟件和用戶友好的功能選擇，操作員將發現它是一個微風加載，對準和暴露晶片與步進和重復轉向系統的幫助。同時，圖形用戶界面提供了過程中每個步驟的可見性，便於實時監控進度和調整參數。FPA 5500IZA提供了一系列令人印象深刻的附件,包括先進的失真測量系統和用於優化圖像質量的光束罩。每個光束遮擋器傳遞不同數量的光，允許在曝光過程中更大的靈活性。還可以添加各種附加的軟件和硬件選項,以實現最高的效率和靈活性。為確保最大性能和使用壽命,步進器使用復雜的光學反饋系統和先進的控制算法來最大限度地減少振動,降低功耗並實現更好的曝光均勻性。CANON FPA-5500 IZA設計為全天候運行,其創新的溫度控制單元可確保穩定運行和可靠性能。CANON FPA 5500IZA是一種先進的低維護晶圓步進器,具有一流的成像和性能。其高精度的機器確保了卓越的曝光精度，具有快速、可靠和可重復的結果。這一工具繼續為高效和具有成本效益的微電子生產設定標準。