二手 CANON FPA 5500 iZa #293754594 待售
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CANON FPA 5500 iZa是為半導體制造而設計的最先進的大型晶圓步進器。即使提供高分辨率陣列,它也能提供出色的吞吐量,同時兼具成本效益和性能。它一次提供單次曝光,具有完整的四維（3D+E）晶圓對齊和四維反饋。為了方便和可靠起見,它的標線固定在盒式裝填設備中。CANON FPA-5500IZA具有寬廣的5x6mm視野,在標準掃描時間內可提供100倍的加速度,根據標線尺寸,每小時可處理多達17,000個模具。晶圓步進器還具有高性能、高精度的聚焦系統，對準精度為+/-3nm，焦點為1.72um。這提供了極其嚴格的公差,而不考慮標線和晶圓的大小,從而允許生產可靠和高性能組件。該機操作方式靈活，具有多種優化生產的功能，如多次曝光和自動圖像處理。還提供了一個軟件套件,其中包含一系列自動選項,用於預先收集、拍攝、驗證和歷史記錄傳輸。最後，它的自動標線交換單元進一步提高了吞吐量和生產率，能夠快速高效地交換標準和步進以及重復標線。FPA 5500IZA是一種優質晶片步進器，由佳能公司設計開發，既提供成本效益又提供性能。它擁有廣闊的視野、高性能的聚焦機、靈活的操作方法和各種自動化選項,能夠生產出具有高吞吐量和高生產率的可靠組件。
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