二手 CANON FPA 5500 iZa #293759381 待售

CANON FPA 5500 iZa
ID: 293759381
i-Line stepper.
CANON FPA 5500 iZa晶片步進器是半導體工廠最先進的成像工具。它專為高精度光刻工藝而設計,需要極其詳細的圖像和細線分辨率。佳能FPA-5500IZA步進器采用5微米對準設備,允許兩個晶片對準,精度為+/-0.2 µm。這可以在任何應用中實現極高的光刻精度和精確度。該掃描儀還配備了一個5英寸長工作距離物鏡,允許與無圖案晶片以及多達9 「x9」光刻板兼容。CANON FPA 5500最令人印象深刻的特性之一就是它的離軸成像系統。此單元通過捕獲各種角度的光來生成高分辨率圖像,從而生成高度詳細的圖像。離軸成像機能夠產生0.2 µm的極細線分辨率,確保結果精確一致。FPA 5500還包括一個空氣軸承設計和一個兩軸高速電機的高性能和穩定性。這樣可以確保光刻工藝準確高效,減少誤差並節省時間。步進器還具有高速運動控制工具,能夠同時處理多個高精度的過程。此外,步進器能夠處理各種各樣的光刻過程,如二極管形成、蝕刻和柵極氧化,大大減少了周轉時間。總之,FPA 5500IZA晶片步進器是一種非常先進的成像工具,非常適合半導體制造和其他高精度光刻工藝。其5微米對準資產確保亞微米精度,而其離軸成像模型則產生高質量的圖像,細線分辨率為0.2 µm。此外,它的空氣軸承設計和高速電動機提供了很高的穩定性和準確性,而它的運動控制設備使它能夠同時處理多個過程。因此,佳能FPA-5500 IZA晶片步進器是任何精密光刻應用的理想工具。
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