二手 CANON FPA 5500 iZa #293799914 待售

CANON FPA 5500 iZa是一種最先進的晶圓步進器，專為各種半導體元件的先進制造而設計。這臺機器是大批量生產的理想選擇,它提供了一個高負載平臺,提高了生產率,並具有卓越的準確性和可重復性。CANON FPA-5500IZA具有集成的雙平面對準設備,可以準確、快速、方便地放置各種類型的源基板和目標基板。它的5軸運動平臺有2個線性驅動器、兩個旋轉軸和一個專用於卡盤旋轉的軸。該運動平臺能夠處理各種基板尺寸和形狀,能夠以微米級精度打印復雜的微小特征。FPA 5500IZA還具有CANON獨特的非球面光學系統（AOS）,它能夠最大限度地減少像差,從而獲得極好的陣列放置精度,提供亞微米的配準和叠加精度。此單元還消除了對專用工具的需求,從而為客戶提供了更大的靈活性和控制力。FPA 5500兼容多波長，從157 nm到248nm，可容納常規、樹脂和耐熱材料的全方位。激光掃描儀與最大的光圈相結合，可以精確控制光束角度。FPA 5500還可以利用濕度感應機來獲得最佳的薄膜條件,並包括在線校正,以保護設備免受環境變化,如氣體或蒸氣汙染。FPA 5500還具有全面的軟件套件,能夠集成各種設計要求和制造過程,以及自動抵抗開發和薄膜層控制。用戶友好的界面允許輕松控制機器,而CANON在線流程教程提供了對分步指令的快速訪問。總之,FPA-5500 IZA是大批量生產的首選解決方案,提供無與倫比的準確性、可重復性和性能。它堅固的運動平臺和靈活的參數使其能夠容納廣泛的基板、抗性材料和設計要求，從而帶來卓越的設備質量和效率。