二手 CANON FPA 5500 iZa #293808358 待售

CANON FPA 5500 iZa是一種頂級晶圓步進器,它為半導體制造提供高生產率和精確成像。它能夠每小時產生10,000個5英寸晶圓，能夠聚焦納米範圍內的激光束，創造出高度精確的圖樣。CANON FPA-5500IZA以CANON多鏡頭技術為基礎，將兩個鏡頭結合在一起，減少對焦漂移，以獲得更高的精度。FPA 5500IZA采用定制開發的低壓變速掃描設備,結合獨特的四通道曝光技術,確保無與倫比的精度,即使在高速下也是如此。它支持2.5 µm至0.5 µm的一系列分辨率，與低粘度和混合含量的抗蝕劑兼容。CANON FPA 5500IZA不僅提供卓越的成像能力,而且還提供可靠和剛性的工作站內置對準系統,以確保準確性。為確保圖像質量最高,FPA-5500IZA集成了多種先進技術。智能缺陷檢測單元防範顆粒汙染等雜質，而高速率曝光補償機則確保曝光可重復性。激光光束成形器在保持分辨率的同時增加磁場大小，真正的斷層掃描技術提供3D曝光控制。此外,CANON FPA-5500 IZA還能夠處理單層和多層曝光,從而實現復雜的陣列。為了進一步減少操作員和工程師的麻煩,FPA 5500 iZa提供了一個用戶友好的操作界面,包括階段管理和分析支持工具,如晶圓對齊和劑量映射。此外,它還集成了先進的機架跟蹤工具,可幫助組織簡化存儲,從而提供頂級精密半導體處理所需的動力和靈活性。