二手 CANON FPA 5500 iZa #293813011 待售

CANON FPA 5500 iZa
ID: 293813011
晶圓大小: 8"
i-Line wide-field steppers, 8".
CANON FPA 5500 iZa晶片步進器是設計用於半導體制造的尖端設備,專門用於光刻應用。該系統利用先進的光學技術和計算機輔助技術,將特征精確地繪制到半導體和材料上。CANON FPA-5500IZA最顯著的特點包括晶圓表面兩側的無掩模、均勻特征的批量制造,以及10nm分辨率的能力,使其非常適合大規模生產集成電路和其他小型化元件。FPA 5500IZA配備了高度先進的光學和激光幹涉測量技術,使用戶能夠在晶片表面上以小尺寸和緊密的縱橫比控制精確繪制特征圖樣。該單元采用一種獨特的無掩碼投影對齊方法,在該方法中,標線和圖樣信息同時投影到晶圓上,從而實現更快的數據傳輸和更大的吞吐量。其復雜多用途的機器結構還支持多束操作,以納米級精度擴大聚焦深度。先進的計算機輔助技術,特別是主動設置功能的使用,進一步提高了該工具的精度。此功能可確保準確有效地完成所有晶片級對齊,同時消除減少生產時間的錯誤。此外,資產還支持各種曝光後任務,如檢查和審查晶圓上圖樣的導電性、分辨率和圖樣線性。此外,它強大的處理模型使用戶能夠在將模式輸出到晶圓之前查看、編輯和調整模式。總體而言,CANON FPA-5500 IZA晶片步進器是半導體制造中必不可少的革命性設備。其先進的光學、模塊化設計和主動設置功能在生產現場提供了無與倫比的生產力、準確性和吞吐量。擁有無與倫比的10nm分辨率能力和晶圓級對準,這款設備是集成電路等先進材料連續生產的最終選擇。
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