二手 CANON FPA 5500 iZa #9113707 待售

CANON FPA 5500 iZa是為大體積光刻應用而設計的高性能晶圓步進器。它是一種高端工具，用於設計先進的半導體集成電路器件，具有極其精確和可重復的成像性能。步進器將先進的激光直接成像技術與高速DMD（數字微鏡器件）投影光學器件集成在一起，為步進器件制造提供了一個快速可靠的平臺。該平臺由先進的DMD投影組件、明亮的UV激光光源以及多個精密的控制系統組成。使用DMD投影組件,步進器可以精確控制整個晶圓的圖像寬度,以及每個字段的位置對齊精度和一致性。這確保了圖像跨多個晶片的高重復性,並提供了高精度的設備制造。步進器還具有高精度Z軸驅動器控制功能,可實現精確的焦點設置,同時為每個磁場提供更大的曝光範圍。這樣可以確保在整個曝光區域內的圖像質量相等,從而確保在晶圓的所有表面上準確一致地制造設備。CANON FPA-5500IZA配備了用於優化圖像分辨率的高精度自動對焦系統,以及用於改進場對場一致性的先進計量標線校正系統。步進器還具有內置的模式識別和配準功能，以加快掩模加載和光學對準。此外，FPA 5500IZA利用先進的熱管理技術，確保DMD組件和激光光源的穩定運行，以及光學和光學元件的高效冷卻。它還有一個全面的安全系統，以保護用戶免受可能的激光引發的事故。為了確保最大程度的可靠性，步進器利用圖像傳感器和集成電子設備來提高可靠性和延長壽命。CANON FPA 5500IZA還提供了一整套流程管理工具和服務,從而提高了工具的利用率和性能。最後,步進器具有直觀的界面和易於使用的軟件,以實現更快、更高效的步進器操作。