二手 CANON FPA 5500 iZa #9294138 待售

CANON FPA 5500 iZa是由CANON開發的高端光刻投影步進器。這種先進的光學光刻設備設計用來將晶片上的圖案化層以0.2微米的分辨率曝光，相當於頭發寬度的五分之一。FPA 5500釋放出0.7的高數值孔徑,與傳統步進器相比,它能夠提高焦點和更高的吞吐量。FPA 5500利用CANON專利的先進iZ PreAlign技術,利用CANON掃描步進器采用的傾斜級,與先進的「VIA2」算法配對,實現晶片圖樣與步進器曝光平面的精確對準。與傳統步進器相比,這允許更高的對齊精度和更高的吞吐量。FPA 5500采用CANON Edge 5500處理器,具有集成控制器IC,可減小機器尺寸,並使用15位ADC/DAC和Wafer-Alignment-Machine （WAM）進行高級蝕刻。與過時的晶片步進器相比,此處理器還可以釋放晶片邊緣區域的對齊錯誤。FPA 5500的精確度得到了進一步的維護,它采用了確保晶片牢固固定的高穩定性玻璃真空卡盤,以及采用四面照明器和舞臺鏡頭配置的投影對準器,以最大程度地減少錯位。FPA 5500還具有自動對焦系統，利用激光源和對焦檢測器精確測量掩模和晶片之間的焦距。此外,FPA 5500還配備了佳能原子成像技術,它允許同時測量6個光軸而不移動,從而提高了曝光劑量的精度。佳能FPA-5500IZA是一種功能強大、最先進的晶圓步進器。這種最先進的光刻設備可實現更高的對準精度和更高的吞吐量,同時提供最大的精度和圖樣穩定性。