二手 CANON FPA-5500iZe #293758315 待售

CANON FPA-5500iZe是一種高性能晶圓步進器，設計成一種經濟實惠、全自動的半導體器件制造解決方案。FPA-5500iZe具有高分辨率的廣域成像設備,最大分辨率為0.25微米,提供了當前可用晶圓步進器的最高分辨率。這樣就可以實現無與倫比的精確對準和匹配互補電路。憑借其最先進的變焦光學，佳能FPA-5500iZe還可以容納各種各樣的芯片尺寸，從最小的翻轉芯片芯片到最大的大型集成電路。FPA-5500iZe的全自動加載系統使晶圓基板的處理和制備成為可能。步進器的高精度線性驅動電機能夠對每個晶片進行精確的直接和半直接配準和自動聚焦掃描。CANON FPA-5500iZe還具有大面積的LED照明功能,可減少總曝光時間、降低總擁有成本並提高設備產量。FPA-5500iZe使用專用的雙方向可變螺距晶圓傳輸單元,可最大程度地減少螺距不匹配並確保精確的晶圓與晶圓對齊。自動晶片對齊可實現全自動晶片定位,從而最大程度地減少了耗時的手動對齊調整。它的高速光圈機可以在站點之間以最小的串擾來實現高速曝光。CANON FPA-5500iZe配備了先進的診斷和過程控制軟件，使用戶能夠提高產量，減少浪費時間，並最大限度地降低汙染風險。可選的流程控制軟件提供全面而強大的配方驅動的應用程序開發,能夠同時運行多個流程。總體而言,FPA-5500iZe是一個高度先進和可靠的晶圓步進器,旨在提供完整、全自動、經濟高效的制造過程。其精度和速度使其成為半導體器件制造的絕佳選擇。