二手 CANON FPA 5510 iV #293817797 待售

CANON FPA 5510 iV
製造商
CANON
模型
FPA 5510 iV
ID: 293817797
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.18-0.10 Resolution: ≤1000 nm DCO: 300.
CANON FPA 5510 iV是為先進的半導體光刻制造而設計的高功率、高精度的晶圓步進器。它具有尼康cGTO5510晶片級,可提供較短的掃描時間和超精確的小型特征尺寸。FPA 5510 iV具有5.5mm和10微米步進分辨率的小視野,可以輕松處理具有挑戰性的任務。步進器利用CANON VME光柱在廣泛的動態範圍內提供極精細的分辨率和高通量。掃描儀鏡像和電動級相結合,創建了一個統一設計的集成設備。這樣可以在較小的足跡內實現更快的吞吐量和更高的準確性。CANON FPA 5510 iV配有一個對準系統,具有易於使用的用戶界面和高靈敏度的共焦對準單元以及2D無線陣列。步進器還配備了一臺具有高達50倍放大倍率的超強放大倍率機,可實現更大深度的聚焦,從而實現更高精度的陣列設計。借助先進的投影工具,FPA 5510 iV可以處理多種基材和0.3微米至10微米的薄膜厚度。資產采用抗蝕劑和掩模沈積技術相結合,以極高的精度創建各種大小和復雜性的模式。對於一個全面的光刻模型,CANON FPA 5510 iV有一個選擇的先進功能,以提高生產力。步進器的直觀界面允許快速設置,並為快速周轉時間提供批處理和配方管理。步進器還與廣泛選擇的軟件兼容,以進一步提升其性能。FPA 5510 iV還提供各種安全功能和空氣清潔系統,以確保安全的工作環境。通過內置電離器,步進器可以最大限度地減少微妙組件上的電荷和灰塵堆積,並改善關鍵過程。CANON FPA 5510 iV晶片步進器為精密光刻應用提供了高度的精度和靈活性。結合尼康cGTO5510晶片級和CANON VME光柱,能夠準確、輕松地有效地處理苛刻的任務。步進器先進的放大設備、直觀的用戶界面、空氣清潔系統以及許多其他特殊功能使其成為高需求光刻應用的理想選擇。
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