二手 CANON FPA 5510 iX #293636290 待售
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ID: 293636290
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
Stepper, 12"
Reticle size: 6"
Overlay accuracy: ≤ 50 nm
Resolution: ≤ 500 nm
Numerical aperture (NA): 0.28 - 0.37
Exposure area: 52 mm x 56 mm
2014 vintage.
CANON FPA 5510 iX是設計制造半導體的晶圓步進器。該機器專為大批量生產而設計,為光刻提供精確、高度集成的解決方案。CANON FPA-5510IX配備了高效的光源和先進的光學器件,將圖像精確傳輸到半導體晶圓,這是制造過程中的重要組成部分。它具有優化的光學設備,可減少錯位並確保精確成像。該系統采用先進的自動對焦特性,能夠檢測晶圓表面的微小變化,並相應地精確調整焦點。該單元由軟件提供動力,該軟件可根據所使用晶圓的類型和大小調整成像過程的參數,從而實現更快、更準確的成像。用戶友好的界面可以方便地操作和監控步進器的性能。該機配備了數字變焦功能,非常適合減少大型集成半導體設計的微包場缺陷。它還支持可變線距,這對於更高分辨率的設計非常重要。此外,還可以對步進器進行編程以多次掃描區域,從而提高分辨率並降低缺陷率。FPA 5510 iX采用高效散熱器和智能冷卻機設計,防止過熱,降低功耗。它還能夠高速運行,從而實現最大吞吐量。由於其先進的光學、自動對焦工具和軟件功能,FPA-5510IX被設計為最大的可靠性和大批量生產。步進器是半導體光刻的有效解決方案,提供快速可靠的成像結果。
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