二手 CANON FPA 5510 iZ #293818352 待售

CANON FPA 5510 iZ是一種晶圓步進器，旨在為各種集成電路（IC）的生產提供精密光刻。該設備采用了一系列先進的功能,包括0.82的高數值孔徑（NA）和防止充電和減少光刻缺陷的苛刻的堿基耐蝕塗層。步進器能夠產生極高精度的電路，分辨率高達0.33µm，高NA允許更容易調焦和改進光傳輸。佳能FPA-5510IZ采用緊湊、無脫落的設計，可最大限度地減少空氣汙染，減少粉塵進入晶圓表面。其曝光場為6.45英寸（164毫米），能夠將精密復雜的圖案投射到晶圓上，精確放置精度小於0.04 µm。獲得專利的光學移位系統確保投影模式在曝光之間保持精確對齊,有助於步進器精確制造復雜的設備結構。該系統的對準精度得到其實時、高速自動對焦系統的支持，使其能夠快速、準確地獲得晶圓熟練度。步進器還設計為用戶友好，帶有液晶顯示屏，便於對各種參數和特性進行目視監控。FPA 5510 iZ由提供有效步進操作的107W LampBoard供電。高頻EHX （HF）驅動器設計用於在各種環境條件下提供穩定的對準和模式精度。步進器還配備了專有的ActiveX™圖像補償技術，它提供了靈活性，並確保了模式完整性，而不管環境參數的變化，如濕度和照明。FPA-5510IZ是一種高性能的晶圓步進器,能夠生產高精度的高端集成電路。它的非脫落設計有助於確保空氣汙染最小化，而其強大的高級功能陣列有助於在廣泛的工業環境中實現精確的模式和可靠的性能。