二手 CANON FPA 5510 #293648529 待售

CANON FPA 5510晶圓步進器是一種光學驅動的高速光刻工具，用於半導體制造過程。它具有多重晶片處理能力，並配有高分辨率掃描儀和先進的光學器件，以確保光刻過程中晶片上圖案位置的精確對準。FPA 5510是一種最先進的晶圓步進器,可在任何類型的工件上產生高性能和高度精確的圖案。其雙軸設備提供高精度、精確度和高通量,為復雜的微米級光刻作業提供了完整的光刻解決方案。CANON FPA 5510的分辨率約為0.005 um，最大投影面積為640 x 480 mm。它提供高吞吐量,吞吐量速度為每小時80個晶圓。其配件包括精密圖案的FPA-FX2TV和FPA-FX7TV標線選擇，以及Dual@@-D Quadra@@-D Optive、Shart@@-Shoot系統等廣泛的凹陷和表面對準系統。FPA 5510是一個全自動單元，擁有微處理器控制的操作機器，確保高效準確的操作。它還配備了內置視覺工具，能夠高精度檢測和測量物體。其控制器具有內置的2D計量資產，軟件具有強大的圖像處理能力。此外,它的6軸X-Y-Z工件處理模型包括兩個移位板、兩個旋轉和兩個傾斜角度。CANON FPA 5510的軟件與廣泛的晶圓晶圓廠自動化系統兼容，使其能夠與各種工藝系統和設備接口。該軟件可以讓設備同時在多個晶片上進行處理，其系統配置可以輕松調整，以滿足不同光刻作業的需要。FPA 5510具有小巧、輕巧的設計,非常穩定、無振動,並且與用戶的環境具有最大的兼容性。它具有抗靜電放電和高粒子過濾額定值的內置保護、兩臺風冷電動機和內置安全功能。CANON FPA 5510是一種高度先進的晶圓步進器，是任何微加工或高精度光刻項目的理想選擇。它具有高分辨率、準確性和吞吐量的能力,以及先進的功能,使其成為滿足任何晶圓處理需求的絕佳選擇。