二手 CANON FPA 5550 iZ #293817793 待售
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ID: 293817793
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45-0.57
Resolution: ≤350 nm
DCO: 45.
CANON FPA 5550 iZ是一種高度先進的晶圓步進器,專為苛刻的微光刻工藝而設計。這種最先進的步進器提供卓越的成像能力和出色的設備間一致性。它確保晶片與其專有、高度精確的對準設備精確對準。步進器可以在半導體和其他器件上精確地曝光和成像圖樣,從而實現器件的高精度生產。它專為高速生產超大型基板而設計,確保了無與倫比的吞吐量和生產率。它具有較高的分辨率,最小敏銳度為0.6 μ m,均勻分辨率為0.5 μ m。具有獨特的光暈照明系統和先進的自動遮蔽機構,確保了遮罩的精確放置和光刻均勻性。步進器支持多種成像技術,包括多波長曝光和多級自動曝光。它還支持特殊的可重復聚焦功能,能夠在不同的基板和各種厚度的薄膜中實現精確聚焦。利用其「XYZ鏡頭調諧功能」,確保精確聚焦,進一步提高成像精度。其優化的多級真空進料裝置保證了晶片的平穩、高效和精確的運動。它還提供出色的高速通信功能,數據傳輸速度高達3.5 MB/s。其專有的、高度精確的圖案匹配機確保了口罩和基板之間圖案的精確匹配,確保了設備與設備之間的完美一致性。而且,這種先進的設備還具有一種用於操縱和定位晶片的高分辨率機器人。步進器設計方便維護,可輕松集成到各種生產線中。其先進的操作能力使其適合多種應用,包括攝影、微電子、醫療器械、微機械和航空航天。簡而言之,FPA 5550 iZ是一種高精度晶圓步進器,旨在在要求苛刻的平版印刷過程中提供卓越的效果並確保精度。
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