二手 CANON FPA 6000 AS4 #293752739 待售
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ID: 293752739
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
ArF Scanner, 8"
CYMER Laser
CYMER Chamber (MO/PA) non-functional
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
Stage leak
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一種晶圓步進器，設計用於各種行業的陣列應用。它有一個大步進表，允許精確對準基片。步進器包括一個先進的空氣承載級，它提供了一個平坦、均勻的平面，用於投射到晶圓圖樣上。利用高性能投影光學設備，該機器能夠在制作光刻面罩時提供高度精確的圖像分辨率。FPA 6000 AS4的掃描單元有助於減少誤配。專利的「同步掃描」功能確保了掩模和晶片之間的緊密同步,提供了卓越的圖像精度。該機還配備了佳能先進數字濾波器處理（DF）技術，用於檢測和減輕任何泄漏輻射。這有助於確保高級光電應用的最高質量模式精度。步進器配備了自動對準系統，快速、精確地定位最佳對準。此單元有助於確保口罩完全對齊,從而節省生產時間和成本。內置測量機有助於檢測重叠，在較短的時間內產生更準確的結果。CANON FPA 6000 AS4的低維護設計有助於最大限度地提高正常運行時間。步進器每天最多可運行24小時,包括一個靈活的運行計劃器,可幫助保持生產的高效和平穩運行。各種維護工具,例如基於AI的工具,用於檢測違規行為並報告錯誤,進一步有助於確保平穩運行。FPA 6000 AS4還包括一系列旨在提高安全性的功能。SafeMode可確保生產僅在預定義的時間範圍內進行,從而提高操作安全性並消除故障風險。最後，步進器配備了過濾器替換警告資產，有助於防止灰塵顆粒滲入模型。總體而言,CANON FPA 6000 AS4是一種高級晶圓步進器,旨在為陣列設計應用提供高精度和精確度。它具有空氣承載階段、高級圖像投影、同步掃描、集成對準設備、低維護設計和安全功能,使其能夠在各種應用中提供出色的效果。
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