二手 CANON FPA 6000 AS4 #293752740 待售
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ID: 293752740
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Argon Fluoride (ArF) scanner, 8"
CYMER Laser
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
Non-functional parts:
CYMER Chamber (MO / PA)
Reticle changer robot arm
Reticle pre-align stage
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一種先進的自動化晶片步進設備，利用空中成像投影和高精度對準實現超高通量和極其精確的光刻結果。它專為半導體行業的全方位生產而設計，包括微處理器和IC。FPA 6000 AS4具有高度緊湊的系統結構,與以前的型號相比,它提高了吞吐量並減少了所需的空間。內置的AS4對齊步進器和模式模擬器提供了高精度的對齊方式，使模式位置和焦點在晶圓的所有區域都能精確對齊。自動步進器能夠高精度地識別整個晶片中的偏移點。這增加了設備的精度和總體產量,特別是對於小間距集成電路。該機器配備了CANON最先進的CAP激活工具，大大降低了光刻工藝的能耗，從而實現了停機。CAP-activation是專門為了減少曝光前的時間，允許更快的吞吐量和更高的生產能力而設計的。此外，該資產還配備了先進的換塔模型，利用晶圓厚度測量信息自動切換成像光學器件。利用這一設備，佳能FPA 6000 AS4能夠適應不同的晶圓厚度，優化其成像能力和打印質量。FPA 6000 AS4還配備了許多附加功能,以最大限度地提高吞吐量並提高準確性和可靠性。它的RC註冊系統促進了連續產生的模式之間的高度註冊，確保了異常高的模式可重復性。此外，該單元還配備了多個內置控制器和傳感器，如晶圓位置傳感器和用於精確運動控制的AFD傳感器。這有助於確保陣列晶片的成像正確且無缺陷。最後，機器的人性化控制器為操作員提供了一個完全可控的圖形用戶界面，簡化了設置和操作過程。此外,CANON FPA 6000 AS4提供了一系列軟件選項,使用戶能夠自定義各種參數,例如模式的類型、數量、大小和分辨率。這使得該工具適用於各種光刻工藝，在生產過程中提供最大程度的控制和靈活性。
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