二手 CANON FPA 6000 AS4 #293753688 待售
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ID: 293753688
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
CYMER Laser, currently non-functional
PC: HP B2600
2004 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是為先進光刻技術而設計的最先進的晶圓步進器。這臺創新的機器利用先進的光刻技術，如多重曝光投影，制造出高分辨率的蒙版。FPA 6000 AS4能夠在大面積場上提供高達1.0 μ m的微線型。CANON FPA 6000 AS4具有最大工作面積6,000 x 6,000 μ m和5步變焦設備,可精確曝光晶圓。此外，它還具有高功率照明器、二維掃描和可變角度投影系統，以減少像差和畸變。該機還具有用於生產先進光學元件的高通量反射成像模式。FPA 6000 AS4具有多項高級功能,可幫助確保質量蒙版的生產。它具有內置的自動對焦和防準直系統，可以在曝光前精確對準掩模。此外，其先進的激光光學確保精確的高分辨率遮罩圖樣。CANON FPA 6000 AS4還有一個內置的自動曝光調平裝置，使晶圓能夠均勻曝光。FPA 6000 AS4的吞吐量高達每小時500晶圓,使其成為最快的晶圓步進器之一。它的高速旋轉和二維掃描確保了各種模式的快速和準確的生產。此外,它的用戶友好界面使其易於編程和操作。CANON FPA 6000 AS4是一種高度可靠和耐用的機器。它采用剛性和防塵設計，防止汙染和磨損。與其他同類晶片步進器相比，該機器的故障率也較低。此外，它的內置維護機器使檢查和診斷機器的任何問題變得容易。總體而言,FPA 6000 AS4是一種高度先進的晶圓步進器,可提供高精度光刻掩模生產。其先進的功能集、高通量、可靠性和耐用性使其成為先進光刻應用的理想選擇。
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