二手 CANON FPA 6000 AS4 #293753702 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293753702
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
ArF Scanner, 8"
Reticle, 6"
Cassette: Left
SCSI Hard Disk Drive (HDD)
Wafer loader type: SCH Robot
Reticle alignment: EXA Scope unit
Chamber type: FPA-6000-ASA
CCD
Autofocus mode
PC: HP B2600
2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4是一種先進的晶圓步進器，旨在促進光刻成像過程。該機具有5.8 μ m的圖像尺寸精度、1.6nm的覆蓋精度以及高達每小時100個晶圓的快速成像工藝速率，適用於高容量、高通量的半導體生產。該機配備了高精度、低負載的六軸機器人，用於快速、精確的舞臺運動，並具有垂直振動補償設計，以確保在單個晶片上打印多個芯片時能夠產生最佳效果。此外，該機配備了高性能準分子激光光源，保證了高分辨率圖像和最小曝光時間。這使得該機適合大批量、高吞吐量生產。FPA 6000 AS4還具有可靠的液晶光束成形設備,可提供高精度的光束偏轉控制。這使機器能夠高精度地處理,並有助於減少任何潛在的表單錯誤。機器還提供自動對焦控制，使打印圖像能夠準確快速地產生，而不管舞臺和基板條件如何。此外，它還具有自動化對準系統，允許用戶在打印前快速調整光束位置，提高打印圖像的分辨率和準確性。除了成像功能外，該單元還提供了高級模式編輯工具，允許用戶以更精細的細節設計高級模式。再者，可以精確跟蹤圖案放置，使印刷圖案準確，不分舞臺位置。最後，機器配備了健壯的數據管理機器，為用戶提供存儲各種數據的能力，包括參數、配方和測量結果。這使得管理多個晶片和管理每個晶片的生命周期變得容易。綜上所述，CANON FPA 6000 AS4是一種先進的晶圓步進器，能夠為光刻工藝提供高精度、高通量的成像。該機成像速度快,設計可靠,非常適合任何光刻環境,尤其是那些需要大量產品的環境。
還沒有評論