二手 CANON FPA 6000 AS4 #293815419 待售

CANON FPA 6000 AS4是一個晶圓步進器，提供了一個小占地面積和大光學透鏡，使其成為一個理想的選擇光刻工藝。這種晶片步進器在0.40NA時的最大透鏡尺寸為150 mm，並且由於其先進的光學元件而能夠在半球形表面上曝光。FPA 6000 AS4還具有200 mm的磁場尺寸和最小的激光光斑尺寸,最大可達0.5微米。該設備配備了各種特性和技術，如其有源的網罩對準設備，提供了使用佳能專有的網罩對準系統提高精度和改進叠加控制的能力。CANON FPA 6000 AS4還配備了CANON先進的弧形場照明裝置和空氣動力學對焦機，以加快曝光時間。這種晶片步進器還具有高達0.90的大傳感器數值孔徑，具有六個獨立的檢測區域，這使得它比市場上其他晶片步進器更精確、更強大。此外,FPA 6000 AS4具有廣泛的曝光和掃描格式選擇。這包括基於光柵的二進制曝光、光掩碼掃描、狹縫掃描和線路掃描,以及每個應用程序的格式選擇。此外，CANON FPA 6000 AS4有一個專有的即時照明工具，根據曝光形狀調整照明模式。這樣可以確保圖像被精確均勻化以獲得最佳結果。FPA 6000 AS4提供的所有功能使其成為各種光刻工藝應用的理想選擇。