二手 CANON FPA 6000 AS4 #293815444 待售

CANON FPA 6000 AS4是一種頂級晶圓步進器，旨在實現用於生產半導體器件的高精度光刻。該機配備了特殊的高分辨率4-kW激光掃描儀，提供卓越的精度和均勻性。該機設有高速對準設備，使用多個探測器檢測掃描線失真，調整X軸和Y軸的對準。雙CCD攝像機確保精確的叠加對齊,並具有亞像素精度。此外，該機還采用先進的擴展場匹配和自動焦點跟蹤系統，提供卓越的過程控制。這些系統能夠對脆弱晶片上最細小的結構進行精確的光刻成像。此外,自動快門裝置可確保所有掩蔽級別的均勻吞吐量和不均勻曝光。該機還配備了用於高精度掃描的長壽命掃描編碼器和采用專利技術設計的超穩定晶圓處理機。這些特性使得晶圓表面上即使是最微小的圖案也能進行出色的操作和對齊。高級軟件還提供了對成像過程的額外過程控制和微調。該機還提供佳能AMF-FT（自動匹配功能自由拓撲）卓越的晶圓粘合能力。這種獨特的特性提供了優越的粘合參數，最小化了掩蔽失真，並保證了高度並行化的對齊。FPA 6000 AS4是當今最高端的晶圓步進器,提供無與倫比的精度和均勻性。先進的工藝控制、優越的掃描、優越的晶圓粘合能力使這臺機器成為成功生產高端設備的理想機器。