二手 CANON FPA 6000 ES5 #9227776 待售

ID: 9227776
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
KrF Scanner, 12" 248 nm System configuration: Type: Notch LCP Wafer chuck L-Type wafer thermal controller plate (WTC) System layout: Left type: Inline direction TEL Lithius track interface Auto feeder: Type X Front side only e-console kit Right type, 12" Open cassette Canon standard booth unit (3) Color signal towers Reticle, 6" Reticle SMIF changer unit Reticle barcode reader Pellicle particle checker (Pellicle height: 5mm) GIGAPHOTON G40K3 Excimer laser 2004 vintage.
CANON FPA 6000 ES5是一種先進且精確的晶圓步進器,它利用先進的光學和機械元件提供精確且可重復的結果。該設備是一個先進的步驟和重復集成系統,能夠提供準確和可重復的晶圓處理與高收益率。該單元可用於多種不同的光刻工藝,包括單次、雙次和多次曝光。晶圓步進器可用於各種不同的過程,包括光刻、半導體、MEMS和電路板處理。該機器采用先進的超精密掃描儀和成像工具,配有專門設計的光學元件,能夠提供高精度和精確度,同時處理最復雜的圖樣。該資產包括一個特殊的高設置精度功能,它允許快速設置模型並減少測試處理所需的時間,從而在通常時間的一小部分內實現高質量的結果。成像設備包括帶9個曝光門的4k x 4k CCD和高速直線電動機,可提供高精度和精確的掃描模式。該系統僅使用單個掃描即可實現流程的可重復性和統一性,從而無需多次曝光,從而節省了時間、精力和成本。包含在單元中的控制軟件,提供了用戶友好的界面和集成層管理、自動模式優化和晶圓檢測等功能的廣泛列表。機器還能夠自動補償由於環境溫度變化而可能發生的錯誤。這確保了連貫的結果,即使在困難的環境條件下也是如此。FPA 6000 ES5是那些需要高精度和重復性、使用較小基板或需要快速輕松地處理大量晶片的人的理想工具。該模型的高級成像和光學資產為用戶提供了一種能夠快速、輕松地滿足許多晶圓處理應用要求的最終產品。
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