二手 CANON FPA 6000 ES5 #9253683 待售

CANON FPA 6000 ES5是由CANON Inc.製造的晶圓步進器，以高精確率提供先進半導體器件層的精密放置和陣列。它擁有內置的先進光刻設備，非常適合半導體器件制造和Deca曝光等工藝。步進器使用兩次曝光來改進對準和精確放置。它還有一個可選的操作環境，可以處理不同的加工條件，比如高溫和可變氣體大氣。FPA 6000 ES5配備了高級功能,可實現高效、精確的晶圓級陣列。這些特點包括先進的激光幹涉儀系統、氣刀單元以及平均放置精度在2µm以內的高精度溫控抗蝕劑開發機。其高分辨率自動聚焦工具在任何給定位置提供最佳曝光過程。步進器具有6k像素陣列圖像感測單元,可提供高分辨率陣列處理功能。還結合了具有低噪聲快門功能的高速自動快門，增加了資產的吞吐量。步進器最大分辨率為5微米，能夠處理6英寸和8英寸晶圓。CANON FPA 6000 ES5設計用於低功耗、低水蒸氣含量。其先進的環境控制模型可在20°至30°C的過程溫度下實現高效性能,而無需額外冷卻。機器還提供精確的曝光緯度控制，以嚴格調節模式分辨率。步進器設計了多種通信接口,包括以太網、USB和RS-232,非常適合調試和維護操作。此外，其綜合檢查設備確保準確放置和檢測錯誤。FPA 6000 ES5還設計為易於維護,具有幹凈的接口、縮短的校準時間和高級監控功能。