二手 CANON FPA 6000 ES6 #9194861 待售

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CANON FPA 6000 ES6
已售出
ID: 9194861
KrF Scanner 248nm.
CANON FPA 6000 ES6是CANON製造的尖端精密晶圓步進器。該模型被設計用於各種科學和工業過程,這些過程需要在廣泛的應用中獲得精確、準確和可重復的結果。CANON FPA-6000 ES6具有內置的自動對焦系統,能夠提供激光掃描和跟蹤,並且具有高度精確的聚焦階段。因此,這使得該單元能夠用於需要步進器的對齊、測量、可重復性和精度的應用中。此外,ES6被設計為能夠處理12英寸到8英寸的晶圓,並配備了一個或兩個精密口罩。FPA 6000 ES6還具有各種最先進的光學和照明系統,以便在晶圓掃描過程中準確檢測和處理缺陷和缺陷。這些系統允許可靠地使用不同的協議,從而在晶圓步進過程中提高速度、精度和精度。除了令人印象深刻的光學和照明系統外,ES6還擁有高度先進的成像系統。該裝置能夠產生高達5微米的分辨率,同時仍保持高達6 000個場/秒的高截面率。這與它的自動曝光調整以及它的線條和面積測量特征相結合,以進一步提高它對各種苛刻過程的適用性。由於這些特點,FPA-6000 ES6非常適合要求高精度和一致性的各種苛刻的科學和工業過程。這包括光掩模對準和印刷,半導體晶圓級制造,以及檢查各種嵌入式結構。該ES6配備了完全集成的軟件套件,確保各種復雜的流程能夠輕松可靠地完成。
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