二手 CANON FPA 6000 ES6 #9210240 待售
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已售出
ID: 9210240
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
KrF Scanner, 12"
248 nm
Loading config: Right hand loader
In-line with TEL Clean Track Lithius
Notch type, 12" (LCP Wafer chuck equipped)
R-Type, Type X Auto feeder
LITHIUS Type Coater developer
R-Type Inline direction
R-Type: Wafer thermal controller plate, 12" (WTC)
L-Type: Open cassette, 12"
CANON Standard booth unit
Reticle changer (Reticle SMIF changer unit)
Reticle barcode reader: 6"
Pellicle particle checker type: 6" (Pellicle height 5mm)
GIGAPHOTON G41K3-1H Excimer laser
RH Type: Delivery optics
Front side e-console kit
Signal tower type: 3 Colors
Power: 200 AC, 3 Phase
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6晶片步進器是一種精密光學成像工具，利用先進的技術，讓用戶能夠精確地檢查、檢查和加工各種基材，包括復雜的材料和結構。這使得它成為半導體制造、研發的完美工具。CANON FPA-6000 ES6非常精確,可提供高達1.2秒的高速成像速率。它的六個單獨的曝光頭包含各種透鏡和斜面光學器件，以允許在基板曝光的靈活性，使其成為理想的工藝成熟和缺陷檢查。此晶片步進器的高速動態成像模式提供了顯著的成像加速度,可提供高達175X的曝光速度。它還具有廣泛的光譜照明源，具有從紫外線到紅外線的波長，包括可見光和不可見光，可用於優越的成像。這樣可以實現高分辨率和對比度測量,非常適合各種應用。FPA 6000 ES6還通過其自動晶圓處理和預對準系統提供了符合人體工程學的環境。這些功能使用戶能夠快速準確地將晶片移入和移出步進腔室,從而進一步簡化流程。這對於高通量工作特別有用。該設備也是高效的，擁有低能耗照明系統，比傳統的成像系統耗能少90%。這與增強的冷卻裝置相結合,使溫度始終保持在最佳範圍內。這有助於延長機器的使用壽命,同時降低成本。最後,FPA-6000 ES6提供了一系列高級功能,旨在確保頂級性能和效率。其中包括自動校準工具、消除手動對焦調整的自動對焦資產,以及獲得專利的低密度粒子束（LDPB）,可增強圖像一致性和對比度。所有這些功能都有助於提高模型的整體可靠性和生產率。
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