二手 CANON FPA 6000 ES6 #9235775 待售

CANON FPA 6000 ES6是一種晶圓步進器,旨在支持高級包裝應用。CANON FPA-6000 ES6提供了廣泛的功能,旨在實現最佳性能。它采用Opto-Bedsteable對齊技術，以較少的不確定性和可追蹤性實現微妙之處。這是由新開發的先進檢流計反射鏡系統實現的，該系統可以輕松地將曝光位置調整到0.1微米，即使曝光水平很高，也能提供更高的精度和準確性。FPA 6000 ES6配備了先進的精密多層曝光（PMLE）和高傳輸空間。這允許步進器保持高分辨率，在最大3微米層對層配準範圍內具有均勻性。這還帶有快速的線寬映射和用於3D設備制造的同質過程,從而在同一層中實現了更高的精度和吞吐量。FPA-6000 ES6配備了幾種先進的自動化功能。這包括一個自動對焦系統,該系統允許使用1 X、5 X和10 X目標,從而可以手動或自動校準圖像、圖樣和晶圓位置。它還允許高密度電鍍（HDP）工藝,使處理時間減少多達40%。此外，它還支持不同的晶圓尺寸，從8英寸到12英寸不等。這暴露了下一代晶圓技術的生產，這種技術可能足夠用於復雜的堆叠或其他設計。高精度CANON FPA 6000 ES6也被設計為實現更高的性能吞吐量。這是通過在不影響精度和精度的情況下將舞臺速度提高到最大2.8英寸/秒來實現的。此外，它的對準精度為0.3微米，減少了由於對準不良造成的非生產力。其CCD型對準使其能夠在9.6mm的廣域上測量，同時減少測量時間。最後,CANON FPA-6000 ES6配備了互鎖內存控制,以備份寫入數據,並確保對齊和曝光過程與芯片設計精確匹配。它還具有對準誤差峰值檢測的雙跟蹤系統。這提供了分層和精確的緯度，以確保在整個過程中精確穩定的晶圓運動。