二手 CANON FPA 6000 ES6a #9193101 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一種晶圓步進器,專為需要高精度、出色對準和穩定操作的設備制造過程而設計。它是一種先進的工具,可提供更好的生產吞吐量和最小的晶圓損耗。CANON FPA 6000ES6A的性能是基於其優越的光學設備、高NA投影透鏡的組合，以及用於非常精確的叠加對準的四傳感器晶圓對準系統。高NA投影透鏡為NA 0.75，提供1.5 µm的優越分辨率；這和四個傳感器有助於非常精確的對準。內部晶片處理模塊提供了更高的精度，精度高達± 2 µm，以有效實現晶片上的分離曝光，從而產生更小的元件。此外，步進器具有獨特的晶片卡盤設計，其提取晶片的次數比傳統晶片步進器少，這意味著更少的粒子汙染機會。FPA-6000ES6A提供卓越的處理速度和準確性。它在整個晶片上提供高達12秒/層的曝光速度。此外，它的成像均勻性非常出色，使得每個晶片在晶片上的對準都非常可靠。用戶友好的DSC1000單元是FPA 6000 ES6a的核心,使用戶能夠輕松訪問所有功能。這臺機器為用戶提供了每一層的全面數據集，允許根據流程配置文件分析結果並運行一致的優化。此外,CANON FPA-6000ES6A還具有自動對焦和晶圓夾具識別等多種用戶友好功能。這些實用功能將設置時間和手動操作次數降至最低。而且，自動夾具裝載機允許在晶片卡盤上放置多個晶片夾具而不會中斷，確保晶片可以隨時準備生產。最後,構建了CANON FPA 6000 ES 6A,以實現長期可靠性。它有一些關鍵的安全組件，如晶圓破損檢測工具和灰塵檢測傳感器，以確保可靠的操作。FPA 6000 ES 6A是器件制造工藝中精密光刻的理想選擇。它結合了多種功能,成為商業級別生產和開發的可信賴解決方案。