二手 CANON FPA 6000 ES6a #9198402 待售

CANON FPA 6000 ES6a是用於制造微電路、光掩模等相關產品的晶圓步進器。它利用大視場（77mm x 78mm）確保設備能夠精確成像，並具有0.45um的高分辨率進行針孔檢查。該設備具有雙面陣列和雙面對準功能,能夠高效制造多層設備。CANON FPA 6000ES6A采用點對齊和自由對齊補償相結合的綜合覆蓋精度。此外,還設計了波長掃描以優化圖像增強.在FPA-6000ES6A中使用的鏡頭的設計使得它提供了一個清晰的成像場具有出色的對比度和最小耀斑提供了最高的性能。而且，這種透鏡覆蓋了很大的波長範圍，可確保滿足各種設備的需求。該ES6a的最大吞吐量達到了令人印象深刻的180 wspm。CANON FPA-6000ES6A內置聚焦和圖案定位傳感器,以及配有高分辨率數字圖形顯示屏的微鏡設備,可實現最佳的過程控制。FPA 6000 ES6a旨在為傳統雙反射鏡系統提供經濟高效的替代方案。它配備了靜電100kHz掃描鏡,減少振動以提高吞吐量速度並減少停機時間。此外，ES6a還需要一個透鏡帽對準功能，其目的是減少頻繁優化和縮短調整周期的需要。CANON FPA 6000 ES 6A也有高靈敏度的光掩模對晶圓對準系統。對準系統提供的主要好處是，它確保了以亞角度精度從目標位置到位置的高精度移動。此外，為了確保最小的耀斑，晶圓步進實現了進口單色顯示器的高精度視覺控制。總體而言,FPA 6000 ES 6A是一種非常先進、高效和可靠的晶圓步進器.其廣闊的視野、令人印象深刻的分辨率、叠加精度和廣泛的功能使其成為高精度制造微電路、光掩模及相關物品的理想解決方案。