二手 CANON FPA 6000 ES6a #9227778 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一種最先進的高分辨率機器，旨在生產用於生產半導體晶片的高質量光掩模。這是一個步驟和重復/激光對準/模式發生器/覆蓋測量設備具有極高的精度和高分辨率。該機器非常適合生產低至0.18 µm （7.5 nm）的特性。它提供了多種功能,包括多種曝光選項、曝光對齊方式、離軸對齊方式、叠加精度和跨場對齊方式。CANON FPA 6000ES6A提供了一系列令人印象深刻的功能、選項和創新技術,使其成為生產先進芯片和其他半導體晶片的首要選擇。該機主要部件為高分辨率激光步進器、對準站、線性定位系統、集成激光圖樣發生器、大容量晶片級、可調聚焦單元和綜合控制機。該光學工具包括一個照明設備，具有近乎衍射受限的光學設備，可提高對比度和分辨率；一個裸露的圖像對準模型；一個內置的激光圖樣發生器，具有獨特的分束器，可提供卓越的覆蓋；以及一個在產生低至0.18 µm （7.5 nm）的特征時可達到最佳覆蓋精度的減速設備。新開發的離軸對準系統為叠加測量和交叉場對準提供了最高的精度和精確度。FPA-6000ES6A還具有專用軟件,可控制機器的所有內置功能和選項。它設計方便導航和操作，為用戶提供卓越的生產力和圖像質量。使用其可選的自動模式生成器,用戶可以快速創建模式文件並將其加載到步進器曝光單元的每個階段。自動叠加補償系統可實現精確的多曝光對準,以實現對叠加特征的高精度配準。用戶可以訪問更高級的功能,例如晶片上的缺陷修復和在單個芯片上重復模式的跟蹤修復,這是一個選項。FPA 6000ES6A是高精度工業生產、先進晶圓級封裝、光電等多種應用的絕佳選擇。它為用戶提供了高分辨率成像和叠加對齊選項的選擇,使其適合提高生產產量、準確性和可靠性。這臺機器非常適合以質量為導向的企業和半導體行業中那些在生產精密優質晶片方面需要最大性能的企業。