二手 CANON FPA 6000 ES6a #9235776 待售
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CANON FPA 6000 ES6a晶片步進器是用於先進光刻應用的新型工具。這種裝置能夠以高精度和高精度對晶片進行制圖。通過使用真正的成像透鏡設備,曝光過程的精度和分辨率大大提高。CANON FPA 6000ES6A是一種步進器,具有多功能、高精度的成像光學系統。這種光學裝置的設計保證了晶圓的精確圖樣.FPA-6000ES6A的最大投影圖像尺寸可達21mm x 21mm,投影機的數值孔徑為0.70,可變聚焦系統可用於不同的聚焦深度。此外,步進器還配備了CYD光學器件,可確保圖像在整個曝光過程中保持聚焦。該裝置還配備了曝光過程的各個階段,如晶片夾、投影對準、德加、圖像標線運動、自動對焦工具、步進運動、檢測資產等。所有這些階段都是為了減少整個光刻工藝時間而設計的。CANON FPA 6000 ES 6A具有可編程曝光時間,使用戶可以輕松控制每個陣列制作過程的曝光時間。CANON FPA-6000ES6A具有極其精細的特征模式。它具有0.26 μ m的最大分辨率的特征大小和設計,以確保晶圓非常精確和精確的圖樣。此外,該設備還能夠以非常高的精度將光掩模覆蓋在晶圓表面上。FPA 6000 ES6a極其可靠,用戶友好。它便於維護,具有很高的可重復性級別。此外,該裝置能夠在很短的時間內產生非常精細的質量模式,使其成為高產量和大規模生產應用的理想選擇。
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