二手 CANON FPA 6000 ES6a #9247815 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一種高性能晶圓步進器,旨在使制造商能夠滿足其業務的嚴格要求。該ES6a是為精確、速度和可靠性而設計的獨立設備。該ES6a非常適合半導體生產過程中使用的晶圓步進器，因為它具有高分辨率的圖像和精確的圖樣處理能力。它非常適合於將功能尺寸降低到120納米,從而可以創建更小、更復雜的集成電路。該ES6a設計為使用不同的晶圓尺寸，從4英寸到8英寸不等。它具有獨特的專有可變日光系統（VDS）源,能夠在各種晶片上實現一致的成像。VDS還消除了在操作過程中重新定位的需要,最大限度地提高了吞吐量和工作流效率。該ES6a采用高分辨率掃描裝置，利用3.5微米的激光光斑大小來提高圖像精度。它還具有先進的光學機器，提供多種成像格式，允許高效和全面的模式生產。該ES6a采用CANON專有的A&C自動校準工藝進行設計,以確保精確的陣列和成像。自動校準系統可在陣列操作過程中加快設置時間並提高可靠性。步進器還有一個先進的晶圓信息工具，用於監測階段位置和曝光強度等過程參數，確保操作方便。該ES6a配備了強大且用戶友好的互鎖資產，可防止晶圓意外損壞。它還具有先進的晶圓級映射功能,以確保精確的陣列放置,以及確保可重復陣列放置的位置檢測模型。該ES6a是一種理想的晶圓步進器,用於需要精確度和吞吐量的生產操作。它能夠產生高質量的圖像和圖樣，具有準確性和可重復性。它的眾多高級功能使它能夠最大限度地提高效率和生產力,同時將成本降至最低。