二手 CANON FPA 6000 ES6a #9251795 待售

CANON FPA 6000 ES6a是世界領先的先進半導體加工晶圓步進器。這種最先進的設備提供了高吞吐量、可重復的高分辨率成像,以及從低成本到最先進的晶片經濟高效地生產設備所需的靈活性。CANON FPA 6000ES6A晶片步進器配備了場發射源，能夠在整個晶片上實現極精確的對準重復性，允許在亞微米精度下實現步進和曝光重復性。該系統的高數值孔徑為0.23,極短的聚焦長度僅為6 mm,可實現卓越的圖像分辨率和特征識別,是薄膜沈積和復雜3D特征制作的理想設備。該設備的最大吞吐量為每小時200毫米晶圓,可加快周期時間和提高生產運行效率,從而縮短生產周轉時間並降低成本。除了典型的半導體加工之外，FPA-6000ES6A晶片步進器還允許先進的晶片加工。集成的快速工具更換器、低振動成像以及快速、直觀的軟件算法等功能可實現標線的自動放置和對齊、設計優化以及嚴格的過程控制。與步進器集成的主叠加機在過程優化方面提供了額外的靈活性，為用戶提供了增強的生產成果。FPA 6000ES6A晶片步進器提供一系列高級功能和選項,以進一步定制生產並降低成本。Premium Automation Suite提供實時流程監控,而Control Unit則允許高級統計流程和產品控制。端到端晶片處理解決方案為批處理和單晶片處理提供了從晶片到晶片的輕松過渡。總體而言，CANON FPA-6000ES6A是一種功能強大且可靠的晶圓步進器，設計用於高效且經濟高效的半導體生產。它的高分辨率成像和自動化算法的集成使其成為高級晶圓處理和功能的理想選擇,而其快速的吞吐量和可定制的選項確保它能夠滿足任何生產環境的需求。