二手 CANON FPA 6000 ES6a #9281803 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一種高精度、高性能的晶圓步進器,能夠進行高重復精度的納米級陣列。它在半導體工業中尤其有價值，因為它可以產生極精細的模式，具有很高的準確性和可重復性。該ES6a利用超短脈沖（USP）激光器技術,產生低至16nm間隔的陣列。它還為高分辨率設備采用了一系列先進的光刻技術。PAT-TM對準設備可在曝光期間實現精確對準,從而實現最精確的陣列化。經驗證可靠的振蕩級驅動系統以高度可重復的方式精確、精確地移動晶片。它還配備了CANON專利的「Compact-Step」，減少了曝光步驟操作之間的時間。成像單元利用步進器，能夠支持一系列成像格式以及邊緣定位脈沖。使用各種傳感器快速檢查隔離顆粒的位置和存在，並使用高度敏感的成像機對顆粒進行大小確定。輔助光學器件可用於對整個操作進行實時監控。該ES6a是一個高效晶圓步進具有一個浮動石英/陶瓷腔室內置氣體控制，以及一個低調的卡盤。這些功能可實現穩定的陣列設計,以實現最佳的線寬可重復性、更高的吞吐量和更好的整體質量。此外,專有的超Light™激光熒光監測器（SLF）確保精確的晶圓聚焦和圖樣覆蓋缺陷得到控制。該監視器還能夠檢測各種缺陷，如感光材料的聚集。該ES6a是一個全面的晶圓步進能夠產生高度可重復，極其精細和精確的納米模式。它是半導體行業的重要工具，能夠可靠地提高生產吞吐量，同時保持優良的質量。