二手 CANON FPA 6000 ES6a #9293799 待售

CANON FPA 6000 ES6a Wafer Stepper是用於制造集成電路（ICs）的最先進的紫外光刻系統。該機結合了先進的激光光學、高精度的6軸級和自動卡帶傳輸，以提高吞吐量，減少晶圓處理時間。該機器能夠產生小至15納米的特性，非常適合生產高密度集成電路、內存設備和光電元件。CANON FPA 6000ES6A以193nm ArF激光器為激發源，允許比行業標準KrF光刻高得多的分辨率。該激光器采用高精度光學準直器和6軸反射鏡轉向組件進行聚焦和定向，能夠將光束精確定位到納米規格以內。舞臺采用集成的高分辨率激光掃描儀，使其能夠在曝光前將晶片精確沈降到適當的位置。該機還配備了自動卡帶傳輸系統，可以將晶片快速裝卸到系統中。這允許在每個周期中處理多個晶片，從而導致吞吐量顯著增加。再者，轉印機制設有晶片鰭片，使得晶片能夠從卡帶快速轉移到舞臺再回。總體而言，FPA-6000ES6A晶圓步進器是一種有效可靠的半導體加工工具。其先進的激光光學、6軸級和自動盒式傳輸相結合，使其具有卓越的晶圓處理能力。它非常適合生產復雜、高密度的IC和內存設備,使其成為現代半導體制造業的寶貴工具。