二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296964 待售

CANON FPA 6000 ES6a
ID: 9296964
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Stepper, 12" 2006 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a是一種6英寸晶圓步進器,用於半導體生產中的光刻。與其他晶圓步進器相比,它實現了極高的精度、準確性和吞吐量。它具有幾個獨特的特點,使其成為全球半導體設施的首選。佳能FPA 6000ES6A最重要的特點是其6英寸圖像傳感器。這種傳感器被設計用來捕捉每個像素的非常精細的細節,允許極其緊密的配準和精確的覆蓋光刻。傳感器還提供了一個驚人的視野-高達36mm-允許整個晶圓表面的全覆蓋。這對於現代大型半導體制造工藝尤為重要。FPA-6000ES6A還配備了最新的對齊硬件和軟件。它有一個非常精確的分級系統,用於定位晶片,精度為0.10 µm。這樣可以確保晶片在每次曝光前正確對齊在舞臺上。CANON FPA-6000ES6A具有高精度光刻能力,對於小於光源波長的特征,最小線寬可達0.25 µm,對於大於光波長的特征,還具有額外的曝光步驟。最後,FPA 6000ES6A是最快的晶片步進器,可實現多達80個晶片/小時的吞吐量。這一令人印象深刻的吞吐量水平使半導體設施能夠迅速將其產品推向市場。總體而言,CANON FPA 6000 ES 6A是先進半導體制造工藝中一種特殊的晶圓步進器。其頂級的6英寸圖像傳感器、精確的對準硬件和軟件,以及高速吞吐量,使其成為寶貴的設備。
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