二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296965 待售

CANON FPA 6000 ES6a是晶圓步進器,屬於CANON ES Equipment開發系列ES for Efficient Solutions的一部分。CANON FPA 6000ES6A晶片步進器是為高效、精確的晶片級器件生產而構建的。其最小特征尺寸為0.25微米，機械對準精度為0.5微米。高通量和可重復性使其適合各種設備制造過程，包括高精度的IC、被動組件、MEMS和生物傳感器。步進控制器最多可存儲30種工藝配方，使用戶能夠快速高效地在不同的設備組件、工藝和基板之間進行切換。步進器具有可移動的5軸掩模臺和基板級,掩模臺可容納各種掩模尺寸,並能夠將掩模與基板直接對齊以實現高精度對齊。可移動基板級允許裝載300 mm的基板並將其牢固地固定在適當的位置。FPA-6000ES6A采用了新的Fluoro Scanner,它利用激光波長實現了更快的曝光時間,從而提高了吞吐量。它還提供多種曝光模式，包括單晶片曝光、多區域曝光和激光掃描曝光。強大的成像系統可減少陣列錯誤,從而實現高分辨率陣列。步進器包括一個兩級振幅單元，允許用戶從2種不同的曝光能量中進行選擇，這些能量可以針對特定的設備。步進器還提供高級自動化功能,例如Auto Process Start,它允許用戶在沒有操作員幹預的情況下啟動流程配方。Auto Focus模塊有助於為每次曝光最佳定位掩模和基板。Auto Reticle Change功能允許用戶快速更改標線以提高吞吐量和可靠性。Auto Reticle Cleaning Machine允許用戶保持標線不受汙染和灰塵汙染。總體而言,FPA 6000 ES 6A晶圓步進器是制造高精度器件的有效解決方案。它具有快速的吞吐量、可重復性以及易於編程軟件的高控制級別。它還具有一系列高級自動化和高級成像功能,使其成為晶圓級設備生產的理想選擇。