二手 CANON FPA 6000 ES6a #9296967 待售

CANON FPA 6000 ES6a是一種高精度晶圓步進器，設計用於半導體器件工藝的光刻和光掩模模式生成。步進器能夠在五英寸（127mm）和八英寸（203mm）直徑的晶片上成像小至0.11 µm的復雜高密度特征,分辨率高達2,040像素/英寸（80,000 像素/cm2）。它還能夠為高級超大規模集成（VLSI）設備生成0.07 µm的最小設備特性尺寸。步進器由高品位材料構成，為最高精度和可靠性而設計。CANON FPA 6000ES6A具有全自動對準設備，以確保精確的晶圓定位和失真控制，在對較大晶圓場成像時保持全場平坦度。利用激光幹涉儀的特點，步進器精確測量所有關鍵元件的位置，以確保成像精度。此外,該機器的高級成像系統以變速運行,具有亞微米級精度,能夠成像最具挑戰性的特征,如窄線條或密集圖案。該機配備了高分辨率、低溫發射、延長長波長（ELW）的光學單元，能夠在整個5英寸和8英寸直徑的晶圓上提供均勻的照明。此外,步進器還具有防反射塗層,旨在防止由於光幹擾而對圖像產生任何有害影響,同時仍可提供出色的成像對比度。對於動態成像,步進器依賴於三維（3D）掃描技術,該技術能夠提供高達1,000倍的保真度和分辨率,以提高成像質量。操作環境還具有優化的溫度和濕度範圍,以提高成像能力,以及設計用於在操作過程中保持機器穩定的隔振機。FPA-6000ES6A有一個可調的階段，提供無掩模光刻和光學接近校正操作具有卓越的成像質量。此外，步進器最多使用五種照明模式，為各種光刻應用提供最適合的成像輪廓。此外,該計算機還設計為通過用於基本操作的以太網連接和用於高級設置的專用控制面板接口連接到主機。