二手 CANON FPA 6000 ES6a #9305230 待售
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已售出
ID: 9305230
晶圓大小: 12'
優質的: 2005
KrF Scanner, 12"
Wavelength: 248 nm
CYMER ELS-7310 Laser
Magnification: 1/4
Illumination NA: 0.86, σ 0.95 to 0.25
Annular ratio: 1/2 to 3/4
Opening angle: 90 XY Dipole illumination
TEL Lithius track interface
Lens data
Illumination optical system:
AFIS Input switching: 15-Tier turret
Aperture1: 13-Tier turret
Aperture2: 4-Tier turret
Projection lens NA: 0.55 - 0.86
LIPS Focus
Alignment system:
FRA Reticle alignment
AGA Wafer alignment
Reticle SMIF loader:
PPC
Reticle barcode reader (2D), 6"
OMRON Tag reader
Relay FOUP
Right inline
Wafer type: Notch, 12"
Cool plate before exposure (WTC)
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a晶圓步進器是一種通用、用戶友好的半導體生產光刻機。它是由高端成像設備領先制造商CANON Inc.生產的專用晶圓步進器。這臺機器是為高精度和高生產率而設計的.它具有獨特的光學元件和計算機控制的配置，使其能夠產生具有亞微米分辨率的精湛晶片圖樣。該設備采用最先進的旋轉掃描機構，並采用計算機控制的平面調整，使掩模與晶片之間的對準更加高效和精確。該ES6a能夠在大小視圖之間無縫切換,提供了無與倫比的靈活性。設備的光學模塊配備了大量的多鏡頭，確保投影圖樣具有超常的保真度。該系統與行業標準的GDSII數據格式完全兼容，便於數據傳輸和與第三方軟件兼容。除了令人印象深刻的性能外，CANON FPA 6000ES6A還設計方便直觀的操作。該系統是完全自動化的,從接觸到對齊到步進/掃描儀控制,無需手動幹預。此外，這臺機器被設計為符合人體工程學，具有廣泛的操作員控制選項。曝光設置、焦點位置和運動控制參數等調整都可以從界面上輕松調整。FPA-6000ES6A確保以最小的操作員投入和精力快速、準確地生成完美的模式。CANON FPA-6000ES6A以其頂尖的光學設計、無與倫比的精確度和簡單的操作，是高容量半導體生產的理想選擇。
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