二手 CANON FPA 6000 ES6a #9384057 待售

ID: 9384057
KrF Scanner, 12" 90 nm.
CANON FPA 6000 ES6a是一種晶圓步進機,設計用於半導體工業。這臺機器提供了一種經濟高效的生產手段,在生產集成電路時具有高精度和重復性。該機采用了先進的靜電光刻系統,使其能夠在非常精細的分辨率水平上進行光刻,減少臨界步進誤差。CANON FPA 6000ES6A允許制造任何具有極寬視野的設計,因為它配備了200毫米平床對準器和防反射塗層物鏡。這使得機器提供了比傳統步進更好、更精確的視野。該機可實現雙面對準精度,這是光刻工藝與IC芯片所必需的。它還有一個整體的兩通道連續對準系統,確保在鋼和陶瓷載體上穩定和精確的晶圓對準。FPA-6000ES6A有一個帶有手動和半自動操作模式的步進控制單元。該機可使用PLC或計算機程序操作,可與工業機器人等生產設備集成,用於全自動生產系統。該機具有先進的真空性能,為其提供了低表壓力,可產生優異的光刻效果。此外,機器還配備了一個特殊的自動清洗裝置,有助於減少汙染的可能性。FPA 6000 ES 6A可以與各種步進量規系統結合使用,在最具挑戰性的應用中提供準確和可重復的結果。帶有圖形顯示的直觀操縱桿控制器消除了對復雜過程的需求,並允許用戶輕松控制機器。FPA 6000ES6A還提供了三種減少類型的選擇,即減少一半、減少季度和減少第八次。這種品種允許廣泛的光刻應用,包括微加工和納米加工。總體而言,CANON FPA 6000 ES 6A是一種準確、可靠且經濟高效的晶圓步進器,提供卓越的性能和高的操作效率。該機具有自動清洗裝置、先進的真空能力、三種減速裝置和直觀的操縱桿控制器,具有光刻工藝成功所必需的所有特性。
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