二手 CANON FPA 6000 #293587902 待售

CANON FPA 6000是一種先進的晶圓步進器件，具有高分辨率的光學光刻設備。這種裝置是為半導體制造而設計的，能夠在各種晶圓基板上產生高精度的圖樣。FPA 6000提供193或248 nm波長的目標光束輸出,並提供高達16W的可變激光功率。這使得它可以在廣泛的光刻項目中使用，並用光譜校正的透鏡系統創建各種圖案。該設備配備了最新的數字圖像處理技術，提高了光刻的精確度，能夠將已知最小的圖像精確地再現到各種表面上，包括半導體晶圓。集成圖像處理提供了最小圖案特征的優化和精確放置,如線條和空間、接觸、通過孔等。CANON FPA 6000配備了兩步自動對準單元，使其能夠為每次曝光準確保持所需的晶圓位置。此外，FPA 6000還可用於同軸光刻，並具有1X和7X放大倍率變化、自動變焦和自動換擋等多種高級功能。該設備還能夠執行多種曝光技術和脈沖，包括多脈沖和雙曝光，可用於有效和準確地控制圖案形狀、大小和深度。該設備還配備了高度可靠和精密的顯微鏡以及三維對準掃描儀。這有助於確保晶片上的圖樣以0.5微米的最大精度對齊，晶片定位時的重復率小於3微米。CANON FPA 6000也可用於自旋塗層、開發和後處理。這包括電鍍、化學蝕刻和各種材料的濕法或幹法。總體而言,FPA 6000是一種非常精確、可靠和復雜的晶圓步進器件,可提供優化和精確的結果。其先進的功能、高度精確的成像機、自動對準功能以及多重曝光設置,使其能夠靈活、方便地執行一系列項目。